噴涂和烘干設備時以及在集成電路和電子元件的制造領域中采用化學氣相淀積 (CVD)技術時，其產(chǎn)生的工藝廢氣對人體是有害的，在高溫下與空氣接觸時容易自燃，甚至常溫下與空氣或者氧化劑接觸時也可能產(chǎn)生自燃，這種工藝廢氣主要是硅烷及氨氯等。

 —般采用焚燒法來處理這些工藝廢氣，但是現(xiàn)有的燃燒裝置在工藝廢氣燃燒后所產(chǎn)生稠密的二氧化硅濃煙煙灰容易隨氣體一起從排氣管排入空氣中，造成污染。

硅烷燃燒筒是處理硅烷、氨氣及其他可溶性氣體的廢氣凈化設備，主要用于處理太陽能電池生產(chǎn)線行業(yè)以及CVD化學氣相沉積工藝所產(chǎn)生的廢氣。

本產(chǎn)品采用優(yōu)質不銹鋼原料進行制造，根據(jù)硅烷與空氣接觸而自燃的特點，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進入燃燒塔噴淋室，經(jīng)過噴霧處理，使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應，然后進入脫液器脫液處理后由抽風機排入大氣。